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2017年1月~2月新刊

2017年2月新刊
■サイエンス・アイ新書

 

仕事のExcelが1日でざっくりわかる本

ロボット解体新書

2017年1月新刊
■サイエンス・アイ新書

 

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Si新書既刊101~200

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イチバンやさしい理工系
「薄膜」のキホン』概要 麻蒔立男

 薄膜と聞いて、なんのことかすぐにわかる人は少ないでしょう。薄膜は読んで字のごとく、薄い膜ではありますが、原子や分子の厚さの膜を多層に積み上げ、電子デバイスをつくるという超最先端の技術であり、いまもこれからも各国の先端企業がしのぎを削るジャンルであることは間違いありません。
 本書は、わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく解説した入門書です。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのか、さっそく紹介していきましょう。

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原子に迫る超微細・超高密度の世界
『「薄膜」のキホン』
著者:麻蒔立男(あさまき たつお)
価格:1500円+税 色数:オールカラー
刊行:2010年9月 ISBN:978-4-7973-5713-4

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<著者>
麻蒔立男(あさまき たつお)
1934年、愛知県生まれ。1957年に静岡大学工学部電子工学科を卒業後、日本電気株式会社に入社、1967年から日電バリアン(現キヤノンアネルバ)に出向。1990年より2010年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士。著書に『真空のはなし(第2版)』『薄膜作成の基礎(第4版)』『超微細加工の基礎(第2版)』『やさしい電気磁気学』『トコトンやさしい薄膜の本』『トコトンやさしい超微細加工の本』『トコトンやさしい薄膜の本』(日刊工業新聞社)がある。
>>著書/監修書一覧

第1章 よい暮らしは美と微から
 001 美の極致を支える顔料たち 微粉末を美的感覚で塗り分ける
 002 写真でたくさんの同じ絵をつくる カラー写真やデジタルカメラ
 003 ロボットも薄膜を使って進化する 精密制御は薄膜部品とコンピュータで
 004 五感をつくる 視・聴・嗅・味・触覚をつくる
 005 人工頭脳をつくる
 006 身のまわりの電気製品にも薄膜が使われている
 007 分解でなく圧延でどのくらい薄くできるか
 008 薄膜をつくり超微細なパターンをつくる
 COLUMN 真に空とは

第2章 真空は薄膜づくりの重要な環境
 009 真空とは大気圧より低い圧力の空間の状態
 010 真空の単位は圧力の単位パスカル[Pa]
 011 真空ポンプには吸いだし、吸着の2つのタイプがある
 012 真空を測る、分析する 真空計
 013 真空装置のつくり方
 COLUMN 瞬間質量移動装置の研究

第3章 薄膜をつくろう
 014 薄膜材料は気体にされ、固体の薄膜になる
 015 ソース(気化源)には大別して4種類ある
 016 単層成長と核成長 薄膜の成長①
 017 薄膜の内部には多数の欠陥が残る 薄膜の成長②
 018 薄膜だけでは使えない 基板との結びつきが重要
 019 単結晶膜をつくるために
 COLUMN 氏も育ちも

第4章 薄膜には独特の性質が表れる
 020 薄膜の密度は小さくなり、厚さも時間とともに小さくなる
 021 電気抵抗は変化し、バルクより大きくなる
 022 温度変化に弱くなる エイジングなどによる対策をして克服する
 COLUMN 薄膜と基板を結ぶ

第5章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
 023 基板の平坦性は基本、いまも進歩を続ける
 024 前処理で基板の表面を裸にする
 025 前処理の仕上げは乾燥、これをおこたるとすべてが無意味に
 026 付着強度を上げる薄膜のつくり方
 027 ソースを変更して付着強度を上げる
 028 膜づけ時なんでも行えるときは薄膜と基板の相性が大切
 029 着地点は険しい岩場
 030 希望の薄膜の組成を得る
 031 大面積デバイス用のアモルファス薄膜をつくり、多結晶化する
 032 エレクトロマイグレーション断線とその解決法
 COLUMN 太陽の申し子 プラズマ

第6章 薄膜づくりにはプラズマが大切
 033 プラズマとその魔力を利用する
 034 プラズマをつくるために放電を起こす
 035 低圧力(よい真空)を目指しマグネトロン放電を起こす
 036 薄膜用プラズマをつくる5つの方法
 037 薄膜の大敵はゴミ
 COLUMN 望遠鏡もカメラも明るくなった

第7章 古くから用いられた蒸着法
 038 蒸着法のソース
 039 膜厚を均一にする工夫
 040 イオンを活用するイオンプレーティング
 041 イオンの活用はさらに進む
 042 蒸着材と薄膜の間の組成変化をなくす レーザーアブレーション蒸着
 043 透明で電気を通す薄膜をつくる 透明導電膜の蒸着
 COLUMN ものは使いよう

第8章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
 044 スパッタ率はイオンのエネルギーと薄膜材料によって決まる
 045 スパッタされた原子はcosine則に従い、スピードは非常に速い
 046 スパッタのおもな方式
 047 低電圧・定圧(高真空)を目指したマグネトロンスパッタ
 048 半導体ICの高集積化を支えたアルミニウム合金のスパッタ
 049 反応性スパッタでつくる高性能抵抗膜
 050 酸化物の高温超電導膜がスパッタで解決
 051 透明導電膜(酸化物)ITOは低電圧化で解決
 052 平面の上に薄膜をつける時代から超微細孔の中へ薄膜をつける時代へ
 053 イオンの力を利用して超微細孔の埋め込み
 054 高真空スパッタとアルゴンなしの時代へ
 COLUMN けむり(気体)から固体(薄膜)をつくる。まるでマジック

第9章 気体から薄膜をつくる気相成長法
 055 気体から薄膜(固体)を気相中で成長させる
 056 たくさんのCVDの方式が実用化されている
 057 IC生産に重要なシリコン系薄膜はCVDでつくる
 058 高精彩テレビ用シリコン薄膜
 059 高誘電率薄膜と低誘電率薄膜をつくる
 060 金属や導体膜も気相成長法でつくる
 061 表面改質でつくる酸化、窒化薄膜
 COLUMN 水(液体)の中から薄膜(固体)を取りだす

第10章 液体の中で薄膜をつくる めっき
 062 進化するめっき技術
 063 液体中のめっき膜も真空中の薄膜と同様に核成長する
 064 たくさんの工夫により精密めっきが電気の分野で活躍
 COLUMN 世界最小のナイフで切削加工

第11章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
 065 正確な形状と正しい位置にエッチングしてパターンをつくる
 066 気体イオンによるエッチング
 067 プラズマづくりが命
 068 反応ガスは大切な"ソフト"
 069 エッチング条件を決める
 070 極細イオンビームで故障修理
 071 完全平坦化はCMPで
 072 CMPなしの平坦化技術
 COLUMN 大きな夢を描き前進しましょう

第12章 薄膜を使って前進 その可能性はかぎりない
 073 原子を操って未来デバイスをつくる
 074 世界の通信網を進展させる薄膜
 075 マイクロマシンで人の命を救う
 076 バイオコンピューティング

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